法博思申请一种晶圆搬运机器人自动示教系统及方法专利，显著提高了站点参数获取的精度、一致性和效率
时间：2025-08-13 08:27:18 阅读：
国家知识产权局信息显示，法博思半导体设备有限公司申请一项名为“一种晶圆搬运机器人自动示教系统及方法”的专利，公开号CN120422205A，申请日期为2025年07月。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆搬运机器人自动示教系统及方法，通过设置晶圆对准设备对晶圆进行初始定位；利用包含伸出轴、旋转轴及升降轴的晶圆运输机器人夹取晶圆，并配合位移传感模块对晶圆边缘进行多点检测；通过自动示教控制模块执行多轮速度递减策略，获取晶圆边缘的多个切点信息，采用最小二乘法拟合圆形边界，从而精确计算目标站点位置所对应的旋转轴和伸出轴参数。最终通过人机交互模块输入升降轴参数，完成整个站点的自动示教过程。本发明显著提高了站点参数获取的精度、一致性和效率，适用于多台设备间的一致化部署及设备位移后的快速重定位，提升了晶圆检测和搬运系统的稳定性与智能化水平。
天眼查资料显示，法博思半导体设备有限公司，成立于2019年，位于宁波市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本624.998万人民币。通过天眼查大数据分析，法博思半导体设备有限公司参与招投标项目19次，财产线条，此外企业还拥有行政许可2个。
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