东友精细化工申请光致抗蚀剂清洗液组合物及利用其的光致抗蚀剂图案形成方法专利，防止光致抗蚀剂图案崩塌
时间：2025-08-02 23:34:05 阅读：
国家知识产权局信息显示，东友精细化工有限公司申请一项名为“光致抗蚀剂清洗液组合物及利用其的光致抗蚀剂图案形成方法”的专利，公开号CN120370641A，申请日期为2025年01月。
专利摘要显示，本发明提供光致抗蚀剂清洗液组合物及利用其的光致抗蚀剂图案形成方法。本发明的实施例的光致抗蚀剂清洗液组合物包含一元醇系溶剂和多元醇系化合物。在组合物总重量中，多元醇系化合物的含量大于0ppm且为150ppm以下。通过使用包含一元醇系溶剂和多元醇系化合物的光致抗蚀剂清洗液组合物，可以防止光致抗蚀剂图案崩塌，改善线宽粗糙度，并且可以提高光致抗蚀剂图案的均匀性。
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