伊利诺斯工具制品申请用于清洁器的自动化压力控制系统和方法专利，基于压力调节流体流量
时间：2025-08-09 10:29:29 阅读：
国家知识产权局信息显示，伊利诺斯工具制品有限公司申请一项名为“用于清洁器的自动化压力控制系统和方法”的专利，公开号CN120418946A，申请日期为2023年08月。
专利摘要显示，清洁设备包括：至少一个清洁模块，该至少一个清洁模块被配置成处理电子基板；以及传送系统，该传送系统被配置成将电子基板输送经过至少一个清洁模块。至少一个清洁模块包括流体管理系统，该流体管理系统具有联接到流体源的歧管。歧管包括至少一个出口。至少一个清洁模块进一步包括：自动阀，该自动阀联接到至少一个出口并且联接到通向一个或多个第一喷嘴的导管；以及压力传感器，该压力传感器联接到自动阀。压力传感器被配置成测量流过导管的流体的压力。自动阀被配置成基于由压力传感器测量的压力来调节通过导管的流体的流量。
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