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ASML申请光刻设备载物台专利，可用于光刻设备中

时间：2025-08-03 20:53:15 阅读：

　　国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“载物台”的专利，公开号CN120390982A，申请日期为2023年11月。

　　专利摘要显示，一种可用于光刻设备中的载物台。载物台包括静电夹具，该静电夹具包括设置在绝缘层之间的至少一个电极。载物台还包括第二夹具，其包括电连接的突节阵列，突节包括在突节的物体接收表面处的电阻材料层。

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