东方晶源取得半导体检测设备及其调节装置专利，扩大载台的竖向行程范围
时间：2025-08-25 22:13:16 阅读：
国家知识产权局信息显示，东方晶源微电子科技股份有限公司取得一项名为“半导体检测设备及其调节装置”的专利，授权公告号CN223230319U，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本申请公开了一种半导体检测设备及其调节装置，调节装置包括载台、第一升降机构和第二升降机构。载台用于承载待检测的半导体器件。第一调节机构用于驱动载台沿竖向升降且包括第一楔形件和第二楔形件，第二楔形件与第一楔形件通过楔形面可滑动地连接，第二楔形件被配置为在第一楔形件的驱动下带动载台沿竖向升降。第二调节机构设于第二楔形件，第二调节机构包括多个调节单元，每个调节单元包括柔性连接件和设于柔性连接件下方的微量驱动机构，柔性连接件连接于载台和第二楔形件，微量驱动机构能够沿竖向伸缩变形，以选择性地向上顶升柔性连接件或释放柔性连接件。
天眼查资料显示，东方晶源微电子科技股份有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析，东方晶源微电子科技股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目23次，财产线条，此外企业还拥有行政许可18个。
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