路维光电股价上涨2.84% 半导体光刻技术研发取得进展
时间：2025-08-23 16:19:23 阅读：
截至2025年8月14日15时，路维光电股价报42.66元，较前一交易日上涨1.18元，涨幅2.84%。当日成交额达4.85亿元，换手率为9.69%。
路维光电主营业务为半导体掩膜版的研发与生产，涉及半导体、玻璃基板、专精特新等概念。公司在电子束光刻、干法制程等技术领域持续投入，并针对90nm、40nm等制程节点开展研究。
消息面上，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备。路维光电在半导体掩膜版领域的技术研发与设备应用受到市场关注。
资金方面，8月14日主力资金净流入5688.68万元，近五日累计净流入9452.07万元。
风险提示：市场有风险，投资需谨慎。
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