无锡亘芯悦科技申请接触孔量测方法专利，能够提高接触孔的量测效率以及量测精度
时间：2026-04-03 20:12:39 阅读：
国家知识产权局信息显示，无锡亘芯悦科技有限公司申请一项名为“接触孔量测方法、装置、计算机设备、存储介质和程序产品”的专利，公开号CN121767425A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本申请涉及一种接触孔量测方法、装置、计算机设备、存储介质和程序产品。所述方法包括：将二次电子图像输入至目标实例分割模型得到接触孔对应的实例掩膜，二次电子图像中的接触孔呈现为边缘亮环包围中心暗区的图案，实例掩膜覆盖接触孔对应的边缘亮环以及中心暗区；对实例掩膜进行轮廓拟合处理，形成边缘亮环对应的外部轮廓点集合，确定外部轮廓点集合的质心位置；利用质心位置与外部轮廓点构造中心暗区轮廓点的区域，在区域中得到灰度值满足预设条件的点作为外部轮廓点对应的中心暗区轮廓点；对中心暗区轮廓点进行圆拟合处理，基于处理后得到的圆拟合结果确定接触孔的量测结果。采用本方法能够提高接触孔的量测效率以及量测精度。
天眼查资料显示，无锡亘芯悦科技有限公司，成立于2022年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本2237.4682万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡亘芯悦科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目3次，财产线条，此外企业还拥有行政许可11个。
源自：市场资讯