上海华力申请供应液的过滤装置和排废方法专利，能实现自动排废且同时不影响供应液的供应
时间：2025-08-13 13:47:50 阅读：
国家知识产权局信息显示，上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“供应液的过滤装置和排废方法”的专利，公开号CN120420725A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明公开了一种供应液的过滤装置，过滤器通过设置有第一阀门的第一管路连接进液管，通过设置有第二阀门的第二管路连接出液管。旁路管路通过设置有第三阀门的第三管路连接进液管，通过设置有第四阀门的第四管路连接出液管。过滤器的顶部设置有第五阀门并连接进气管。过滤器的底部设置有第六阀门并连接废液排放管。旁路状态中，第一和第二阀门关闭以及第三和第四阀门导通。过滤状态中，第一和第二阀门导通以及第三和第四阀门关闭。第一阀门至第六阀门都为自动控制阀门且控制信号由控制装置控制。本发明还公开了一种供应液的过滤装置的排废方法。
天眼查资料显示，上海华力集成电路制造有限公司，成立于2016年，位于上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2081次，专利信息2363条，此外企业还拥有行政许可344个。
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