光驰科技取得等离子体发生装置专利，等离子体作用范围较广
时间：2025-08-05 11:58:54 阅读：
国家知识产权局信息显示，光驰科技有限公司取得一项名为“一种等离子体发生装置”的专利，授权公告号CN223168454U，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，本实用新型涉及真空处理技术领域，具体公开了一种等离子体发生装置，包括等离子发生组件和密封组件，等离子发生组件包括激励源、连接线路、放电电极和电介质管，放电电极的一端通过连接线路电连接于激励源；电介质管套设于放电电极外；电介质管和放电电极沿第一方向依次单向穿过安装法兰的第一开口和第二开口；密封组件密封设于电介质管的外壁和第一开口的内壁之间，以及电介质管的外壁和第二开口的内壁之间。本实用新型中等离子体发生装置产生了沿放电电极延伸方向密度均匀的低温等离子体，该放电电极不易形成驻波，且两端均在真空处理腔室外，从而等离子体作用范围较广、均匀性较高，满足在大面积真空处理领域的应用。
天眼查资料显示，光驰科技有限公司，成立于2000年，位于上海市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本80000万日元。通过天眼查大数据分析，光驰科技有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目38次，财产线条，此外企业还拥有行政许可47个。
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