武汉衡惯申请一种MEMS惯性器件及其制造方法专利，使MEMS陀螺仪的体积更小
时间：2025-08-05 03:23:32 阅读：
国家知识产权局信息显示，武汉衡惯科技发展有限公司申请一项名为“一种MEMS惯性器件及其制造方法”的专利，公开号CN120385324A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，本发明属于微机电系统技术领域，具体提供了一种MEMS惯性器件，包括依次堆叠键合的电路层、器件层和盖帽层；所述电路层与所述盖帽层之间合围形成有电路区；所述盖帽层设有多个第一凹槽；多个所述第一凹槽的底部均沉积有吸气剂层；多个所述第一凹槽与所述电路区连通。本发明提供的这种MEMS惯性器件通过将吸气剂的位置从电路层转移到盖帽层，盖帽层空腔的体积可通过空腔深度调控，并不需要增加空腔面积，从而使MEMS陀螺仪的体积更小，为给电路层更多的电路设计空间。又能降低寄生电容带来的影响，为MEMS陀螺仪的制造提供了新方法。
天眼查资料显示，武汉衡惯科技发展有限公司，成立于2021年，位于武汉市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，武汉衡惯科技发展有限公司财产线条，此外企业还拥有行政许可1个。
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