芯微泰克申请一种晶圆激光退火装置及方法专利，兼顾高效性、均匀性和成本可控性
时间：2025-09-08 08:28:21 阅读：
国家知识产权局信息显示，浙江芯微泰克半导体有限公司申请一项名为“一种晶圆激光退火装置及方法”的专利，公开号CN120545222A，申请日期为2025年07月。
专利摘要显示，本申请涉及一种晶圆激光退火装置及方法，激光退火装置包括：激光器，用于发出激光光束，以对晶圆进行退火；及测温与反馈单元，用于实时监测所述晶圆的表面温度，以识别所述晶圆的温度异常区域，并根据算法输出指令以动态调控所述激光器的激光参数，以消除温度异常区域。
天眼查资料显示，浙江芯微泰克半导体有限公司，成立于2022年，位于丽水市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本5833.3333万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江芯微泰克半导体有限公司参与招投标项目5次，财产线条，此外企业还拥有行政许可6个。
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