东莞触点智能装备申请晶圆键合压力控制机构及方法专利，确保键合压力的稳定
时间：2025-09-07 09:18:19 阅读：
国家知识产权局信息显示，东莞触点智能装备有限公司申请一项名为“晶圆键合压力控制机构及方法”的专利，公开号CN120527246A，申请日期为2025年07月。
专利摘要显示，本发明涉及晶圆键合装置技术领域，特指一种晶圆键合压力控制机构及方法。该机构包括主驱动单元、与主驱动单元连动的键合压杆，主驱动单元驱动键合压杆沿键合压力方向位移，通过键合压杆对晶圆施加键合压力，所述键合压杆通过保压气缸与主驱动单元连动，所述的键合压杆设置在保压气缸的活塞杆末端；还包括一位移传感器，通过位移传感器检测键合压杆位移变化，该位移传感器与主驱动单元电性连接。本发明将主驱动单元与保压气缸结合，形成一种复合的运行控制系统，通过控制保压气缸的气压实现对键合压力的控制和调整，确保键合压力的稳定。
天眼查资料显示，东莞触点智能装备有限公司，成立于2016年，位于东莞市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本2822.6066万人民币。通过天眼查大数据分析，东莞触点智能装备有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目3次，财产线条，此外企业还拥有行政许可14个。
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