瀚天天成取得SiC外延设备自动上下料系统专利，进行石墨盘、涂层环、晶片的传送
时间：2025-09-01 11:17:11 阅读：
国家知识产权局信息显示，瀚天天成电子科技股份有限公司取得一项名为“一种SiC外延设备自动上下料系统”的专利，授权公告号CN223240211U，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种SiC外延设备自动上下料系统，包括传盘与传片机械臂，用于进行石墨盘、涂层环、晶片的传送；石墨盘清洗定位装置，对石墨盘进行吹扫清洁及定位；涂层环与晶片分离定位装置，将涂层环与晶片进行分离及定位；晶片上料装置，用于存放未完成工艺的晶片；晶片下料装置，用于存放已完成工艺的晶片；石墨盘清洗定位装置、晶片上料装置、晶片下料装置及晶片分离定位装置均设于传盘与传片机械臂的外侧；石墨盘清洗定位装置、涂层环与晶片分离定位装置均设置有定位器，用于识别石墨盘方向、校准涂层环与晶片定位边；石墨盘清洗定位装置包括吹气装置及抽气装置，吹气装置吹扫石墨盘的盘面，抽气装置抽取所吹扫的颗粒物。
天眼查资料显示，瀚天天成电子科技股份有限公司，成立于2011年，位于厦门市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本40409.276万人民币。通过天眼查大数据分析，瀚天天成电子科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目52次，财产线条，此外企业还拥有行政许可69个。
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