国林科技：子公司国林半导体现有半导体级超纯臭氧气体发生器等产品
时间：2025-08-18 20:07:29 阅读：
有投资者在互动平台向国林科技提问：公司是否有生产原子层刻蚀级别的半导体臭氧设备？
公司回答表示：尊敬的投资者，您好。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括化学气相沉积、原子层薄膜沉积、晶圆清洗、污染物及光刻胶去除、表面处理、氧化物生成等工艺制程，目前被广泛应用于电子工业中。子公司国林半导体现有产品包括：半导体级超纯臭氧气体发生器、臭氧气体输送系统、半导体级高浓度臭氧水系统、DI-NH3氨水输送系统、臭氧水菌系统、臭氧气体尾气分解器、臭氧水分解器、臭氧气体浓度检测仪、臭氧水溶浓度检测仪等产品，详细产品介绍您可以关注公司官网信息。感谢您的关注。
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