上海探跃半导体申请一种定位装置及其使用方法专利，实现对晶圆本体的缺口的精确定位
时间：2025-08-16 14:15:34 阅读：
国家知识产权局信息显示，上海探跃半导体设备有限公司申请一项名为“一种定位装置及其使用方法”的专利，公开号CN120453223A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，本发明涉及机械定位技术领域，具体公开了一种定位装置及其使用方法，该定位装置包括安装底座、第一探测组件、压接组件、驱动组件和定位组件；安装底座具有定位工位，吸盘能够将晶圆本体吸取至定位工位；第一探测组件设于安装底座；压接组件、驱动组件和定位组件均设于安装底座；压接组件、驱动组件和定位组件呈三角形分布，晶圆本体能够位于压接组件、驱动组件和定位组件之间。本发明的定位装置能够使得晶圆本体缺口的定位位置和缺口的开口方向均确定，以此实现对晶圆本体的缺口的精确定位，该定位装置对缺口的定位精确，且晶圆本体的位置与需求位置不会出现差异，因此不会对后续工艺造成影响。
天眼查资料显示，上海探跃半导体设备有限公司，成立于2019年，位于上海市，是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海探跃半导体设备有限公司参与招投标项目9次，财产线条，此外企业还拥有行政许可1个。
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