VAT控股公司申请具有波纹管驱动装置的气体入口阀专利，可将流体受控地送入真空工艺腔室
时间：2025-08-11 18:51:51 阅读：
国家知识产权局信息显示，VAT控股公司申请一项名为“具有波纹管驱动装置的气体入口阀”的专利，公开号CN120418569A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明涉及一种用于将流体受控地送入真空工艺腔室的气体入口阀，其中，该气体入口阀包括：具有内部容积的气体流动单元，其中，气体流动单元在该内部容积中具有密封面；伸入该内部容积中并具有阀盘的调节单元；在该气体流动单元外部与该调节单元联接的驱动单元；以及连接到该气体流动单元和该调节单元并将该驱动单元与该内部容积大气分离的柔性密封元件。该驱动单元具有膨胀元件，其中，该膨胀元件的空间膨胀可随膨胀容积的变化而变化，并且具有连接到该膨胀容积的用于对该膨胀容积进行加压和使其膨胀的压缩空气通道。该气体入口阀包括联接单元，该联接单元连接到该驱动单元和该调节单元，并且其布置方式使得在该膨胀容积变化时该联接单元移动并引起该调节单元的移动。
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