互创芯微取得半导体制程真空腔静电吸盘快速排气结构专利，避免在下次使用惰性气体时对制造的产品质量造成影响
时间：2025-08-05 13:18:15 阅读：
国家知识产权局信息显示，无锡互创芯微半导体科技有限公司取得一项名为“一种半导体制程真空腔的静电吸盘快速排气结构”的专利，授权公告号CN223167465U，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种半导体制程真空腔的静电吸盘快速排气结构，其包括：真空室本体下表面设置有过滤箱一与过滤箱二，且通过连接板相连接，过滤箱一与过滤箱二通过连接管三相连通，过滤箱一与过滤箱二内均固定连接有导流板，导流板上下表面均设置有多个滤网，滤网两端均固定连接有固定板二，过滤箱一与真空室本体之间通过连接管二相连通，过滤箱二下表面固定连接有连接管一，连接管一远离过滤箱二一端固定连接有惰性气体控制输送模块，通过以上结构，便于在惰性气体输送或回流时，对惰性气体进行过滤，避免加工时产生的微尘或腔体内的颗粒物随回收流动而被吸取，避免在下次使用惰性气体时，对制造的产品质量造成影响。
天眼查资料显示，无锡互创芯微半导体科技有限公司，成立于2016年，位于无锡市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本600万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡互创芯微半导体科技有限公司共对外投资了2家企业，专利信息8条，此外企业还拥有行政许可11个。
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