上海芯之翼取得静电吸盘密封件拆卸工具专利，能快速准确拆卸静电吸盘密封圈
时间：2025-08-26 11:09:30 阅读：
国家知识产权局信息显示，上海芯之翼半导体材料有限公司取得一项名为“静电吸盘密封件拆卸工具”的专利，授权公告号CN223223292U，申请日期为2024年07月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种静电吸盘密封件拆卸工具，包括：主体，其顶部贴合静电吸盘一侧边缘形成有避空结构；滑挑件，其形成在主体的避空结构上，其用于将密封圈与静电吸盘沟槽滑切分离；其中，滑挑件的最远端与主体的竖直侧壁之间距离范围为静电吸盘的沟槽深度30％～70％。由于半导体设备中空间非常有限，静电吸盘多数置于腔体中，且静电吸盘与腔体侧壁之间空间极小，这种客观条件决定了普通工具无法适用于静电吸盘密封圈拆除，本实用新型设计的结构非常适用于静电吸盘密封圈的拆除，能快速准确拆卸静电吸盘密封圈，避免拆卸密封圈时造成静电吸盘损坏。
天眼查资料显示，上海芯之翼半导体材料有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本1136.3636万人民币。通过天眼查大数据分析，上海芯之翼半导体材料有限公司共对外投资了1家企业，财产线条，此外企业还拥有行政许可8个。
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