蓝芯芯电子等申请一种碳化硅功率器件及其制造方法专利，简化碳化硅功率器件的制造工艺流程
时间：2025-08-26 09:47:11 阅读：
国家知识产权局信息显示，蓝芯芯电子科技有限公司、上海亚曼光电科技有限公司申请一项名为“一种碳化硅功率器件及其制造方法”的专利，公开号CN120500101A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，本发明提供了一种碳化硅功率器件及其制造方法。该碳化硅功率器件的制造方法通过在碳化硅晶圆背面刻蚀特定图形，深度大于原本所需要减薄的厚度，既避免了整体减薄的风险，降低了碳化硅晶圆破损率，同时图形化结构优化了碳化硅功率器件的导通电阻和散热性能；通过化学镀工艺在碳化硅晶圆正面和反面同时生长正面金属层和背面金属层，简化了碳化硅功率器件的制造工艺流程，提高了生产制造效率，降低了生产制造的成本。通过在碳化硅晶圆正面设计金属阻挡层，利用光刻刻蚀限定正面金属生长区域，精确控制了欧姆接触金属层，进一步提高了碳化硅功率器件的精度和性能。
天眼查资料显示，蓝芯芯电子科技有限公司，成立于2025年，位于深圳市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本50万人民币。通过天眼查大数据分析，蓝芯芯电子科技有限公司专利信息3条，此外企业还拥有行政许可1个。
上海亚曼光电科技有限公司，成立于2016年，位于上海市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本520万人民币。通过天眼查大数据分析，上海亚曼光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目5次，专利信息22条，此外企业还拥有行政许可2个。
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