上海新微取得一种贴膜系统专利，抑制在压辊附近的干膜产生因流动性较强导致的局部松弛堆积
时间：2025-08-25 22:09:15 阅读：
国家知识产权局信息显示，上海新微技术研发中心有限公司取得一项名为“一种贴膜系统”的专利，授权公告号CN223230317U，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本实用新型涉及晶圆加工领域，特别涉及一种贴膜系统，包括载具、移动机构、放卷辊、第一收卷辊和压辊。移动机构包括水平位移组件，载具承载基体并在水平位移组件的带动下沿第一方向可控地移动。干膜的一端卷绕于垂直于第一方向的放卷辊，且干膜沿第一方向移动时带动放卷辊转动。第一收卷辊可控地转动，从而收卷干膜使干膜张紧并沿第一方向移动。压辊的高度高于载具，其底部将干膜压紧粘接于基体表面。干膜从放卷辊移动至压辊底部的行程于从压辊底部移动至第一收卷辊的行程的比限制在1：，有助于抑制在压辊附近的干膜产生因流动性较强导致的局部松弛堆积，防止干膜局部堆积导致的厚度较大的条带的产生。
天眼查资料显示，上海新微技术研发中心有限公司，成立于2013年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本144416万人民币。通过天眼查大数据分析，上海新微技术研发中心有限公司共对外投资了21家企业，参与招投标项目480次，财产线条，此外企业还拥有行政许可44个。
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