泊苏系统集成申请光刻机专用防微震基座专利，形成宽频减震特性
时间：2025-08-15 15:48:45 阅读：
国家知识产权局信息显示，江苏泊苏系统集成有限公司申请一项名为“一种光刻机专用防微震基座”的专利，公开号CN120447314A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，本发明涉及光刻机基座技术领域，公开了一种光刻机专用防微震基座，包括：两个水泥基座，还包括：第一水泥壳，位于水泥基座一侧；第一隔离模块，位于第一水泥壳内；下面板，固定在第一水泥壳上方；加筋板件，固定在下面板上方，用于起到支撑的作用；上面板，固定在加筋板件上；本发明的光刻机防微震基座具备显著防微震效果：上面板与下面板通过垂直分布的加筋板件形成对称结构；加筋板件作为核心减震单元，其上开设的直角槽与锐角槽构成多级震动抑制系统，直角槽利用应力波反射原理改变震动波传导方向，迫使部分震动能量返回原传播介质；锐角槽基于应力波折射理论将震动波向多个方向折射散射，使震动能量向三维空间扩散衰减，形成宽频减震特性。
天眼查资料显示，江苏泊苏系统集成有限公司，成立于2014年，位于盐城市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏泊苏系统集成有限公司参与招投标项目10次，财产线条，此外企业还拥有行政许可11个。
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