屹唐半导体申请带有接触式温度传感器的工件处理设备专利，提供用于测量半导体制造设备的部件的温度的方法
时间：2025-08-13 17:58:04 阅读：
国家知识产权局信息显示，北京屹唐半导体科技股份有限公司;玛特森技术公司申请一项名为“带有接触式温度传感器的工件处理设备”的专利，公开号CN120435647A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，提供了一种用于处理一个或多个工件的半导体制造设备。所述设备包括暴露于射频能量或热量的一个或多个部件，以及被设置在所述一个或多个部件上的一个或多个光学接触式温度传感器。还提供了用于测量半导体制造设备的部件的温度的方法。
源自：