华为申请用于对半导体器件的检测设备进行测试的装置和方法专利，既能够用于进行缺陷检测性能测试，又能够用于测试检测设备的定位能力
时间：2025-08-13 05:26:25 阅读：
国家知识产权局信息显示，华为技术有限公司申请一项名为“用于对半导体器件的检测设备进行测试的装置和方法”的专利，公开号CN120428153A，申请日期为2024年02月。
专利摘要显示，本公开的各实施例提供了一种对半导体器件的检测设备进行测试的装置和方法。该装置包括：半导体衬底；缺陷图案，位于所述半导体衬底上；以及定位图案，位于所述半导体衬底上并且与所述缺陷图案相邻布置。以此方式，提供了集成有缺陷图案和定位图案于一体的装置，既能够用于进行缺陷检测性能测试，又能够用于测试检测设备的定位能力，不需要针对不同的测试内容更换样品。
天眼查资料显示，华为技术有限公司，成立于1987年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4104113.182万人民币。通过天眼查大数据分析，华为技术有限公司共对外投资了52家企业，参与招投标项目5000次，财产线条，此外企业还拥有行政许可1516个。
源自：