上海微世半导体申请化学气相沉积炉送料装置专利，彻底消除摩擦颗粒污染
时间：2025-08-03 14:15:50 阅读：
国家知识产权局信息显示，上海微世半导体有限公司申请一项名为“一种化学气相沉积炉送料装置”的专利，公开号CN120385227A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，本发明涉及一种化学气相沉积炉送料装置，包括输送臂，所述输送臂包括：用于无接触水平伸入或者退出化学气相沉积炉的臂体，所述臂体水平布置于所述化学气相沉积炉炉口的轴向后侧，该臂体的前部的上侧形成用于支撑晶圆载运舟的支撑面，该支撑面的形状与所述晶圆载运舟的底面形状适配；用于调节所述臂体姿态的姿态调节机构，所述姿态调节机构与所述臂体连接；用于驱动所述臂体水平伸入或者退出化学气相沉积炉的驱动机构，所述驱动机构与所述姿态调节机构连接。
天眼查资料显示，上海微世半导体有限公司，成立于2010年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海微世半导体有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目1次，财产线条，此外企业还拥有行政许可2个。
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