北方华创申请传输腔室、半导体工艺设备以及晶片传输方法专利，降低颗粒进入工艺腔室的风险
时间：2025-09-08 11:05:20 阅读：
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“传输腔室、半导体工艺设备以及晶片传输方法”的专利，公开号CN120545207A，申请日期为2024年02月。
专利摘要显示，本发明提供一种传输腔室、半导体工艺设备以及晶片传输方法。其中，传输腔室包括：传输腔体、设置在传输腔体中的晶片传输装置以及匀气盘。匀气盘环绕晶片传输装置的驱动部设置，其内部具有与外部保护气源连通的气体流道，且气体流道具有多个设置在匀气盘表面的出气口，用于向外吹送保护气体，以促进传输腔体内部气体置换效率，并在匀气盘周侧形成保护气帘，从而降低颗粒进入工艺腔室的风险，并利用保护气帘隔绝传输晶片传输装置与其周围的气体环境，从而实现对传输装置的驱动部的保护。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1118次，财产线条，此外企业还拥有行政许可340个。
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