芯源微申请分流排风装置及基板处理装置专利，实现基板处理装置的分流排风结构的小型集成化
时间：2025-09-08 11:03:48 阅读：
国家知识产权局信息显示，上海芯源微企业发展有限公司申请一项名为“分流排风装置及基板处理装置”的专利，公开号CN120545225A，申请日期为2025年07月。
专利摘要显示，本发明提供了一种分流排风装置及基板处理装置，分流排风装置包括主管道和分流管道，主管道用于与处理腔室连接，分流管道与主管道连接，分流管道至少包括第一分流管道和第二分流管道，第一分流管道和第二分流管道均与主管道可拆卸密封连接，第一分流管道和/或第二分流管道包括多个分支管道，第一分流管道和/或第二分流管道的分支管道上均设置有排气切换结构，排气切换结构用于导通或者封堵第一分流管道和/或第二分流管道的分支管道。该分流排风装置的第一分流管道和/或第二分流管道包括多个分支管道，减少了分流管道与主管道的对接点，实现了基板处理装置的分流排风结构的小型集成化，节省了安装空间。
天眼查资料显示，上海芯源微企业发展有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事商务服务业为主的企业。企业注册资本63800万人民币。通过天眼查大数据分析，上海芯源微企业发展有限公司参与招投标项目7次，专利信息42条，此外企业还拥有行政许可59个。
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