智创芯源申请液相外延工装及利用其生长薄膜方法专利，提升薄膜成品率
时间：2025-08-24 21:26:23 阅读：
国家知识产权局信息显示，北京智创芯源科技有限公司申请一项名为“一种液相外延工装及利用其液相外延生长薄膜的方法”的专利，公开号CN120485941A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，本申请涉及液相外延生长技术领域，公开了一种液相外延工装及利用其液相外延生长薄膜的方法，工装包括底座、滑条、可脱落支撑部件、母液板和盖板，可脱落支撑部件包括套设的内芯和外圈；母液板设有用于盛放母液的母液槽；底座设有与滑条配合的第一凹槽，底座的上表面设有第二凹槽；滑条位于第一凹槽中，滑条设有贯穿厚度的通孔，可脱落支撑部件位于通孔中，可脱落支撑部件的上表面用于放置衬底；第二凹槽的深度不小于衬底的厚度，第二凹槽的宽度与外圈的厚度相匹配，外圈随着滑条移动至第二凹槽上方时落入第二凹槽中，使衬底的边缘凸出于内芯；母液板位于底座和滑条的上表面。该工装可以在母液处于熔融状态时将薄膜与周围断开，提升薄膜的成品率。
天眼查资料显示，北京智创芯源科技有限公司，成立于2020年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本10945.6522万人民币。通过天眼查大数据分析，北京智创芯源科技有限公司参与招投标项目14次，财产线条，此外企业还拥有行政许可3个。
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