武汉衡惯申请晶圆级惯性传感器测试方法及系统专利，实现晶圆级传感器的自动化检测
时间：2025-08-10 22:00:57 阅读：
国家知识产权局信息显示，武汉衡惯科技发展有限公司申请一项名为“一种晶圆级惯性传感器测试方法及系统”的专利，公开号CN120405389A，申请日期为2025年07月。
专利摘要显示，本发明提供了一种晶圆级惯性传感器测试方法及系统，涉及晶圆检测技术领域，该方法通过获取待测晶圆的信息，根据待测晶圆的信息确定匹配的测试配置；建立坐标系，控制探针与待测晶圆的所有芯粒依次接触，并依次生成对应芯粒的坐标，直至遍历完待测晶圆上的所有芯粒；控制探针对所有芯粒进行多道检测流程，根据每道检测流程的检测数据和检测结果，生成晶圆图以及输出检测报告；其中，进行下一道检测流程时，自动切换探针卡测试功能，并且上一道检测流程中已确认性能不满足要求的芯粒不再进行检测。上述方法能够实现晶圆级传感器的自动化检测，并根据检测结果生成检测报告和晶圆图，可以解决现有人工手动检测效率低、易出现检测错误的问题。
天眼查资料显示，武汉衡惯科技发展有限公司，成立于2021年，位于武汉市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，武汉衡惯科技发展有限公司财产线条，此外企业还拥有行政许可1个。
源自：