住友大阪水泥申请静电卡盘部件及静电卡盘装置专利，具有使静电吸附用电极的外缘处的电场分散的电场分散结构
时间：2025-08-08 13:56:45 阅读：
国家知识产权局信息显示，住友大阪水泥股份有限公司申请一项名为“静电卡盘部件及静电卡盘装置”的专利，公开号CN120418951A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，一种静电卡盘部件，其具有：基体，其一个主表面为载置板状试样的载置面；及静电吸附用电极，其设置于与载置面相反的一侧或基体的内部，在基体的与载置面连续的侧周面，至少具有：第一曲面，其为在载置面的周缘部沿周向设置的凸曲面；及第二曲面，其在与第一曲面不同的高度位置沿周向设置，在静电吸附用电极的外缘附近具有使静电吸附用电极的外缘处的电场分散的电场分散结构。
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