武汉芯丰精密取得晶圆夹持装置专利,避免将晶圆夹破
时间:2025-08-04 06:48:03 阅读:
国家知识产权局信息显示,武汉芯丰精密科技有限公司取得一项名为“晶圆夹持装置”的专利,授权公告号CN223167472U,申请日期为2024年09月。
专利摘要显示,本实用新型涉及晶圆转移技术领域,具体公开了一种晶圆夹持装置,该晶圆夹持装置包括底座、滑台气缸和两个夹持件,其中,滑台气缸设于底座;两个夹持件能相互靠近或远离,且二者中的至少一个与滑台气缸的驱动端传动连接,夹持件中的一个设有限位螺孔;限位组件包括限位螺钉,限位螺钉的至少部分位于两个夹持件之间,且能与限位螺孔螺纹配合,限位螺钉被布置成位于具有限位螺孔的夹持件外部的长度可调,两个夹持件相互靠近并止动于抵接限位螺钉的位置。上述结构中,通过调节限位螺钉的位置,当两个夹持件相互靠近时,不带有限位螺钉的夹持件抵接到限位螺钉,从而使得两个夹持件无法进一步靠近,进而避免将晶圆夹破,且能免晶圆掉落。
天眼查资料显示,武汉芯丰精密科技有限公司,成立于2023年,位于武汉市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析,武汉芯丰精密科技有限公司参与招投标项目1次,专利信息15条,此外企业还拥有行政许可5个。
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